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Dummy wafer specification

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2018/6/14     浏览次数:    
Wafer Manufacture Texcatech
Wafer type Bare Si Oxide
Reclaimed/New New
Diameter 300+/-0.2mm
Thickness(μm) 775+/-25μm
Conductivity P(B)
Resisitivity 1-100ohm-cm
Crystal Orientation 100
Notch Orientation 100
Warp ≦50μm
TTV ≦10μm
Bow/Warp ≦60μm≦60μm
Front/Backside Polished/Polished
Particle ≧0.2μm,≦100pcs
Oxide layer 5000A


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