请百度搜索 安徽德徽精密科技有限公司 关键词找到我们!

产品中心

涂布机

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2018/5/29     浏览次数:    
涂布机
项目/Item 描述/Description 规格/Specification
UV汞灯 波长/ UV 365nm - 436nm    
Ultraviolet Lamp Wavelength

光源/ Light Source 5000W 汞灯,

5000 W Hg Lamp

使用寿命/ 平均使用寿命≥1200 h 

Lamp lifetime Average lifetime ≥1200 h
电源供应器 型号/ PSTEK
Exposure Power Supply Model

操作模式 恒定电压/Constant Power (CP)

Operation Mode 恒定照度/Constant intensity


(输入曝光能量, 机台自动换算)
光源系统 主波长/ Main wavelength i - line 365 nm
Exposure System h - line 405nm

照度/ 30 mW/cm2( I - line)

Illumination Intensity  60 mW/cm2(h - line)

照度均匀性/ ≦+/- 5 %

Uniformity

曝光有效范围/ Ø300mm

Effective exposure area (平行光/Parallel light)

曝光模式/ Proximity 

Exposure Modes Soft Contact


Hard Contact 

分辨率/ Contact mode:  2.0 µm(or better)

Print Resolution Photo resist: AZ 1512 

- Lines & Spaces on 12" wafer Thickness:1 um


Proximity mode:≤ 5.0 µm 


Exposure gap:10µm gap


Photo resist: AZ4620 


Thickness:2 um
对位载台 X和Y轴移动行程/ +/- 3mm
Alignment Stage Alignment Range X and Y

Theta轴移动行程/ +/- 3 degree

Alignment Range Theta

分辨率 0.1 µm

Stage Resolution 

基板尺寸/ 8” round substrate(1set)

Substrate Size 12” round substrate (1set)


Note: Wafer warpage Spec.≦±3.5mm

光罩尺寸/ Mask Size 9” x9” mask holder (1set)

14” x14” mask holder (1set)
间隙设定 范围/ Range 0 - 1000 µm
Gap Setting 分辨率/ Resolution 1 µm
CCD 对位平台 Movement Range X - 75mm(to front) / +75mm (to rear)
CCD Alignment System Stage
Top Side   Movement Range Y - 75mm(to front) / +75mm (to rear)
CCD 规格 Type CCD (Continuous Video Zoom)
Dual CCD                            Top Side Alignment Total Magnification 45x   (1x)

(1/3" CCD Chip) 270x  (6x)

Field of View (FOV) 4.8 mm x 3.6 mm (1x)

(1/3" CCD Chip) 0.8mm x 0.6mm  (6x)
正面自动对位/ 正面对位精度/ ≦± 2 µm
Top side Automatic Alignment  Top side Alignment Accuracy
背面IR对位/ 背面IR对位精度/  ± 3 µm
Back side iR Back side Alignment Accuracy
Alignment
寻边器/ 型式/Type Non-Contact (wafer)
Pre - alignment  精度/Accuracy +/- 60µm at left and right alignment target position
芯片传输/ 卡匣传送方式/ Pick and Place (Robot type)
Wafer Transport Cassette to Cassette Handling
WEC装置 功能/Function WEC自动补偿/Automatic Wedge error Compensation software control
Wedge error Compensation unit  3轴驱动轴使晶圆座驱动补偿及WEC补偿控制

3 Z axis spindles for best for wafer chuck movement and WEC control

光罩和晶圆使用间隔球,防止光罩受损

Mask against wafer use cylinder proximity Flag
收放片模块/ 型式/Type 8” wafer:
Wafer Load Port  Open cassette

型式/Type 12” wafer:

Foup cassette

功能/Function .Pod is guided easily and intuitively into nest

.Positive detents at fully open and fully closed positions
控制系统Control System 系统架构/Configuration PC Control 

PLC

使用接口/ H/W: Touch Panel

User Interface S/W: Window-based UI

功能/Function .Automatic control of all     

  mechanical movements

.Automatic initialization of  

  motors, switches, sensors and  

  pneumatic

.Self diagnostics during 

  machine start up

.Program and Data Storage 

  Function

.SECS/GEM

控制环境/ .Recipe for process, processing 

Operating environment   and diagnostics


.Automated recording of 


  parameters


.Storage of files and presets on 


  hard disk or network


.Service and System 


  Programs


.User Access Levels for  


  operator, engineer and 


  maintenance


.Password Protection  


.Effective operation and 


  control


.Feedback form the machine


.Stand alone unit
产能 自动对位模式 8” wafer:
Throughput (影像寻边方式,先对位Mark,再找锡球位置确认)  35 wph                                                                                                         Dosage:1000mj/cm2

Auto Alignment Mode 12” wafer:


 35 wph                                                                                                         Dosage:1000mj/cm2
防震桌 尺寸/dimension 915mm W X 1219mm L X 889mm H
Vibration proof Support Table 材质/Material Stainless Steel Laminate

装置/Install Isolator unit on four feet of the table.
设备无尘等级Cleanliness Class 无尘等级10 0.5um < 10 particle/ft³
/Class 10 注:设备所安装的环境需有高架地板及回风系统,无尘等级需等同class10。
 尺寸和重量/ Dimensions and Weight 宽Wide 1570 mm
深Deep 1570 mm 
总高Tall 2000 mm  
重量Approximate Weight 1150 KG


安庆德安印刷材料有限公司
手 机:157-5566-0618(王 燕)
邮 箱:service@texcatech.com

网 址:www.texcatech.com
地 址:安徽省安庆市怀宁县马庙镇民营经济开发区
返回上一步
打印此页
157-5566-0618(王 燕)
浏览手机站